ワイヤ外観検査装置目視支援システム

半導体製造ラインにおいて、製品のモールド成形前(パッケージ封入前)に、リードフレーム(LSIの足)とシリコンチップの間を金線等で接続する工程があります。
この工程は、一般的にワイヤボンディングと呼ばれています。

このソフトウエアは、ワイヤボンディング完了後の製品を画像処理で自動検査した時にNG品として判定された物が「本当に不良品であるかどうか」を検査する支援を行うものです。

画像処理による自動検査では、不良品を取り逃がさないために判定基準が厳しい方向での調整が行われています。
そのため、「過剰判定」という「本来は不良品ではないにも関わらずNG品と判定」される物があります。
画像処理による自動検査でNG品と判定されたからと言って、その製品が不良品だとは限らない訳です。
そこで、NG品として判定された製品に限定して検査者(人間)が顕微鏡による目視での検査を行い、過剰判定であるか不良品であるかの判断を実施します。

このソフトウエアでは、自動検査でのNG判定箇所とその画像を画面に表示し、検査者に目視での確認を促します。
また検査者が目視確認後、過剰判定であったのか、不良品であったのか、またそれらの検査者による判断内容を記録します。

これらの目視検査内容は統計処理のために記録され、過去データの参照等も行えます。
また目視検査結果の一覧表を印刷し、データシートとして次の工程に添付します。

OSにWindows 7 Professionalを採用、画像検査用パソコン2台及び検査装置本体とイーサネット通信によりデータを収集します。

J0254
検査中の画面表示